無塵室設計規劃

無塵室之定義

利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子,氣流運動模式與震動噪音等環境因素做一定之控制，而達到特殊應用與需求之作業或研究場所等，都稱之為無塵室或清淨室(Clean Room),是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建築

無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，在生醫科技、食品加工科技業、農業科技與航太科技產業也都需利用清淨室場所來達到品管之要求，唯所需求之無塵室等級不同。而潔淨室依等級之不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量均有一共通規範，目前在台灣的規範為 ISO-14644

無塵室之種類

無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class 1~100)、水平層流方式(Class 1~1,000)、亂流方式(Class 1,000~100,000)等3種

無塵室設計考量

1. 粉塵之阻止

 粉塵來源之防止

    機械運動所產生之粉塵
 人員運動所產生之揚塵
 玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦
 擦拭工具或材料所產生之粉屑
 未經擦拭之維修工具, 通訊器材或文具
 製程腔體釋放之微塵顆粒或粉屑
 身體肌膚之體屑

    粉塵堆積之防止

    儀器設備之死角
 無塵室結構之接縫
 玻璃或矽晶圓承載具之內部

2. 溫度與溼度控制 

3. 人員動線

4. 儀器設備位置與移機動線

5. 噪音防止

 製程儀器設備運轉之聲音
 基板搬運機傳載之聲音
 空調運轉之聲音
 廣播聲

6. 靜電與電磁防止

    靜電之來源包括

    玻璃機板與空氣之摩擦
 玻璃與機械手背吸盤之摩擦
 製程過程中累積之電荷
 擦拭過程中所產生之靜

    電磁之來源包括
 高電流電源線
 高頻電源供應器
 通信器材

7. 震動問題

    儀器設備機械或幫浦運作所造成之震動
 搬運設備或人員走動之震動
 地表之自然震動源
 廠外重型機具或載具之移動

8. 安全設施

    緊急照明與逃生指示燈之裝置
 逃生路線之規劃與管制
 特殊氣體偵測系統之裝置
 接地設施之裝置
 有機揮發氣體與酸鹼液氣體之排外系統
 火災預警措施與自動滅火裝置

整体工程涵蓋下列

   基座工程(foundation)

   高架地板(raised floor)

   空調管路(Air circulation)

   隔板工程(Partition)

   天花板與照明(Ceiling and Lighting)